2.油扩散泵的工作原理与结构图3 是扩散泵的结构示意图。当油蒸汽从伞形喷咀(如I 级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A 因密度扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时，产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出因喷嘴-1Pa),故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个外面有机械泵
ˇ▽ˇ 结构：油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时，油锅可开始加扩散泵油的返油过程示意图扩散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下运动，由于随机的散射或带方向性的放射，从喷嘴喷出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移动，这样就
2、油扩散泵的工作原理与结构图3:油扩散泵结构示意图图3是扩散泵的结构示意图。当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽隔膜泵。隔膜计量泵。高温分离型屏蔽泵。基本分离型屏蔽泵。全夹套轴外循环屏蔽泵。轴流管道泵。轴内循环屏蔽泵。轴外循环屏蔽泵。柱塞泵结构图。气动隔膜
以油为工作蒸气的称为油扩散泵，以水银为工作蒸气的称为水银扩散泵。图4-3为油扩散泵的结构示意图。油扩散泵是由泵体、泵芯和加热器三个部分组成的。泵体是扩散泵的外壳，外面绕有冷金属油扩散泵的结构图和原理真空处理系统里的油扩散泵是借着高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，它用于高真空区域工作，其工作压强范围是10-2～10-6pa。
